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BROOKS光罩管理器 Pro-S系列 自动化标线管理和可追溯性增加扫描仪/光刻单元的正常运行时间降低标线返工成本保护掩模免受化学污染、雾霾和晶体生长曝光次数增 |
2024-12-09 |
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BROOKS光罩储料器 由于快速访问缓冲区缩短了访问时间操作员和 AMHS 可通过独立的手动和 OHT 装载端口同时访问市场上 高的存储密度自动化标线管理 |
2024-12-09 |
