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BROOKS晶圆搬运机器人 每个工具的 大吞吐量和生产力 流的晶圆放置可重复性在 所有主要晶圆厂获得认证Pathway 安装支持、培训和可维护性 |
2024-12-09 |
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BROOKS真空机 马拉松系列 可配置性高，可满足广泛的过程应用需求使用经过现场验证的特定于应用程序的选项快速上市通过符合 CE 和 SEMI S2 要求的 Gen 5EN |
2024-12-09 |
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BROOKS光罩盒 B超 叠边 小光罩接触提供不同的引脚设计尺寸 6, 250mm不锈钢长寿命铰链 |
2024-12-09 |
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BROOKS标线盒 D双 适用于厚度为250mm的6光罩或厚度为90mm的5光罩叠边专为双层薄膜设计分划板载体有聚丙烯材质。 |
2024-12-09 |
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BROOKS清洁器 1900系列 全自动 EUV 吊舱处理ISO 2 微型环境ESD 和 AMC 控制环境每个 pod 的 N2/xCDA 清除吹扫流量验证用于去除 AMC 化合物的高真空净 |
2024-12-09 |
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BROOKS光罩管理器 Pro-S系列 自动化标线管理和可追溯性增加扫描仪/光刻单元的正常运行时间降低标线返工成本保护掩模免受化学污染、雾霾和晶体生长曝光次数增 |
2024-12-09 |
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BROOKS光罩储料器 由于快速访问缓冲区缩短了访问时间操作员和 AMHS 可通过独立的手动和 OHT 装载端口同时访问市场上 高的存储密度自动化标线管理 |
2024-12-09 |
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BROOKS斯巴达分拣机 优化的微型环境提供 流的清洁度，性能优于 ISO 1 双、超薄边缘夹持晶圆处理为 苛刻的应用实现了快速的交换时间性能直线运动 |
2024-12-09 |
