由于快速访问缓冲区缩短了访问时间
操作员和 AMHS 可通过独立的手动和 OHT 装载端口同时访问
市场上 高的存储密度
自动化标线管理和可追溯性
增加扫描仪/光刻单元的正常运行时间
降低标线返工成本
保护掩模免受化学污染、雾霾和晶体生长
增加曝光次数以延长光罩寿命
高存储密度
全自动光罩处理
可靠、安全的处理，减少光罩和薄膜损坏
低拥有成本 (COO) 
美国BROOKS佳武自营旗舰店
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