BROOKS清洁器 1900系列_供应产品_美国BROOKS佳武自营旗舰店

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经营范围：BROOKS清洁器，BROOKS光罩盒，BROOKS机器人，BROOKS标线盒

主营行业：

所在地区：美国

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BROOKS清洁器 1900系列

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详细信息

全自动 EUV 吊舱处理

ISO 2 微型环境

ESD 和 AMC 控制环境

每个 pod 的 N2/xCDA 清除

吹扫流量验证

用于去除 AMC 化合物的高真空净化室

现场测量能力

可以手动备份

OHT接口

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